正航介紹---真空系統(tǒng)特性參量
1、抽氣最置的抽速
在抽氣裝置進(jìn)氣口處測得的抽速。
2、抽氣裝置的抽氣量
流經(jīng)抽氣裝置進(jìn)氣口處的氣體流量。
3、真空系統(tǒng)的股氣事
由真空系統(tǒng)內(nèi)部所有表面解吸氣體所產(chǎn)生的氣體流量.
注:在真空系統(tǒng)內(nèi)部經(jīng)常出現(xiàn)一種漏氣假象，這種情況叫做"虛漏"。
4、真空系統(tǒng)的漏氣率
由于南氣滲入到真空系統(tǒng)中并影響真空容器中壓力的氣體流量。
5、真空害器的升壓率
在溫度保持不變時(shí)，抽氣系統(tǒng)關(guān)閉后，在給定時(shí)間間隔內(nèi)，真空容器的壓力升高量除以讀時(shí)間間隔之商。該商有可能不是恒定的。
6、極限壓力
泵在工作時(shí)，空載干燥的真空容器逐漸接近、達(dá)到并維持穩(wěn)定的壓力。
7、殘余壓力
經(jīng)過一定時(shí)間的抽氣之后或真空過程結(jié)束之后還存在于真空容器中的氣體或氣體提合物(瓏余氣體)的全莊，在某些情況下殘余壓力等于極限壓力。
注2 在真空技術(shù)中，“氣體”一詞按廣義的理解，即可適用于非冷凝性氣體也可應(yīng)用于蒸氣。
8、粗抽時(shí)間
前級真空泵或前組真空抽氣機(jī)組從大氣壓抽至本底壓力或抽至在較低壓力下工作的真空泵的啟動(dòng)壓力所需要的時(shí)間。
9、抽氣時(shí)間
將真空系統(tǒng)的壓力從大氣壓降低到一定壓力，例如降到本底壓力所需要的時(shí)間。
10、真空系統(tǒng)逝氣時(shí)間
經(jīng)過規(guī)定的裝置放人的空氣使真空系統(tǒng)(或真空容器)內(nèi)的壓力由工作壓力升高到較高的壓力(一
般到大氣壓)所需要的時(shí)間。如果放入的是空氣，那么該時(shí)間稱作"通大氣時(shí)間"。
11、真空容器；真空窒
根據(jù)力學(xué)計(jì)算能允許容器的壓力低于環(huán)境壓力的真空密封容器。
12、真空鐘罩
借助于一個(gè)可拆卸的連接部件，將其放置到另一個(gè)組件(一般來說是一塊底板)上并同這個(gè)組件共同組成一個(gè)真空室的鐘罩形組件。
13、真空容器底板
真空容器底板通常位于真空設(shè)備抽氣系統(tǒng)進(jìn)氣口上并包含有實(shí)施過程所必要的真空室引人線。
14、真空岐管
可以和兩個(gè)或若干個(gè)真空容器相連可以同時(shí)進(jìn)行抽氣的一種真空密封分配件。
15、真空閘室
連接在兩個(gè)不同壓力空間之間的真空室。它具有能與這個(gè)或那個(gè)相接的空間相適應(yīng)壓力的連接裝置和能將物件從這個(gè)空間輸送到那個(gè)空間而在這些空間中壓力不發(fā)生干擾性變化的開孔(全部或部分可以關(guān)閉)。一般來說這些裝置和開孔用于將物件從大氣送入到真空容器中或從真空容器中取出到大氣中。